供应三维光学轮廓测量仪

SuperViewW1三维光学轮廓测量仪采用白光轴向色差原理，利用白光干涉扫描技术为基础研制而成，是一种用于对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维检测的精密仪器，它的特点是可以达到纳米级的检测精度。测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，主要用于成品质量的管理，确保良品合格率。

SuperViewW1三维光学轮廓测量仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。 产品功能 1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能； 2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能； 3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； 4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能； 5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能； 6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

部分参数 Z向分辨率：0.1nm 横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um 粗糙度RMS重复性：0.1nm 表面形貌重复性：0.1nm 台阶测量重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75% SuperViewW1三维光学轮廓测量仪主要对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。